壓電微泵是一種利用壓電材料的逆壓電效應來實現流體輸送的微小泵。其核心部件是壓電振子，通常由壓電陶瓷和金屬電極組成。當在壓電振子的兩端施加交變電壓時，壓電材料會發生周期性的伸縮變形，這種變形會傳遞到與之相連的泵腔結構上，從而導致泵腔的容積發生周期性變化，實現對流體的吸入和排出。
具體工作過程如下：當給壓電振子施加一個正電壓時，壓電材料會沿著電軸方向伸長，使得泵腔的容積增大，內部壓力降低。此時，外界流體在大氣壓的作用下通過進液口被吸入泵腔，這是吸液過程。當施加的電壓變為負時，壓電材料會收縮，泵腔容積減小，內部壓力升高，從而將泵腔內的流體通過出液口擠壓出去，完成排液過程。通過不斷地改變施加在壓電振子上的電壓頻率和大小，就可以實現連續的流體輸送。
壓電微泵的閥門設計也是其工作原理的重要組成部分。常見的閥門形式有被動閥(如硅膠膜片閥)和主動閥(如壓電驅動閥)。被動閥依靠流體的壓力差和閥門的彈性來實現開啟和關閉，結構簡單，但響應速度相對較慢。主動閥則通過額外的壓電元件來控制閥門的開關，能夠更準確地控制流體的流動，但結構相對復雜，控制電路也更為復雜。
壓電微泵的使用注意事項：
1.安裝與連接方面：確保與管道、電源等連接牢固，避免出現松動或接觸不良導致的性能下降或故障。在連接管道時，要注意密封性，防止液體泄漏。
2.驅動信號方面：嚴格按照要求提供合適的驅動信號，包括電壓幅值、頻率等參數。避免過高的電壓或頻率導致壓電材料損壞，也要防止過低的驅動信號無法使微泵正常工作。
3.液體兼容性方面：了解輸送液體的性質，確保液體與泵的材料兼容，不會發生化學反應或腐蝕泵體。對于一些特殊液體，可能需要對泵進行特殊的處理或選擇適合的材料。
4.環境因素方面：注意使用環境的溫度、濕度等因素對其性能的影響。一般來說，溫度過高或過低都可能影響壓電材料的性能，從而導致微泵的流量和壓力特性發生變化。在潮濕的環境中，要注意防潮，避免水分進入泵體內部影響其正常工作。
5.日常維護方面：定期進行檢查和維護，包括清潔泵體表面、檢查連接部位、檢測性能參數等。長期不使用時，要將泵妥善保存，防止灰塵、雜質等進入泵內。
6.安全防護方面：由于壓電微泵可能需要較高的驅動電壓，在操作過程中要注意安全，避免觸電事故的發生。同時，在使用過程中要密切關注泵的工作狀態，如發現異常應及時停止使用，并進行檢查和排除故障。
